根據(jù)基本原理干式真空泵可分為兩類：一類是體積式真空泵，如爪式泵、羅茨泵、螺桿泵、往復(fù)式活塞式干泵、隔膜泵、渦旋泵等。

　　不同類型的真空泵有不同的性能參數(shù)和適用場(chǎng)合。例如，無油隔膜泵主要用于實(shí)驗(yàn)室。

　　石化裝置干式真空泵主要是爪式真空泵和螺桿式真空泵。此外，由于羅茨泵在低壓下的時(shí)候壓縮較高，通常作為爪式真空泵的前泵形成羅茨爪式真空泵，與純爪式真空泵相比，可有效提高低壓下的真空泵速率。

　　在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過程中，所需要的真空系統(tǒng)需要具有去除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等這些功能。因此，油封機(jī)械泵不能滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需要。在半導(dǎo)體行業(yè)的驅(qū)動(dòng)下，干式真空泵出現(xiàn)于20世紀(jì)80年代。由于目前下游集成電路、光伏、LED等這些行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展和進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型也不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)也有比較明顯的提高。截至目前，干式真空泵已用于發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。近年來，我國(guó)也出現(xiàn)了干式真空泵取代油泵的明顯趨勢(shì)。干式真空泵已基本用于國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體行業(yè)。

　　干式真空泵工作時(shí)，無摩擦，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，工作室無潤(rùn)滑油。因此，干式真空泵可以去除大量的水蒸氣和少量的灰塵。由于螺桿形成了螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高，功耗更低，具有節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。是油封真空泵的更新產(chǎn)品。

　　除了半導(dǎo)體行業(yè)之外，制藥、化工、食品行業(yè)對(duì)真空泵的需求量也是比較大的，在過去的時(shí)候很多行業(yè)使用油封機(jī)械泵會(huì)產(chǎn)生油污染。近年來，國(guó)家高度重視環(huán)境保護(hù)，因?yàn)槭褂酶墒秸婵毡每梢栽诠ぷ髦袦p少油污染，而且使用干式真空泵還可以實(shí)現(xiàn)溶解媒體的回收，提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)，用干式真空泵來取代原油封機(jī)械泵，這些行業(yè)對(duì)干式真空泵有大量新的需求。

　　干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。雖然目前使用不多，但除了價(jià)格高之外，用戶對(duì)干式真空泵了解不夠，看不到未來給企業(yè)帶來的經(jīng)濟(jì)效益。然而，干式真空泵使工作容量無油，帶來了很多好處。

　　以上是淄博沃德氣體設(shè)備有限公司小編整理的干式真空泵的工作原理與目前的市場(chǎng)前景的相關(guān)內(nèi)容，希望對(duì)您有所幫助，淄博沃德期待您的來電與合作。